半導體製造業空氣污染管制及排放標準

03/01/1999

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環保署業公佈施行半導體製造業空氣污染管制及排放標準，半導體製造業產生之空氣污染物應由密閉排氣系統導入污染設備並處理至符合下列規定之排放標準後始得排放。

空氣污染物	排放標準
揮發性有機物	排放削減率應大於90%或工廠總排放量應小於0.6 kg/hr(以甲烷為計算基準)
三氯乙烯	排放削減率應大於90%或工廠總排放量應小於0.02 kg/hr
硝酸、鹽酸、磷酸及氫氟酸	各污染物排放削減率應大於95%或各污染物工廠總排放量應小於0.6 kg/hr
硫　酸	排放削減率應大於95%或工廠總排放量應小於0.01 kg/hr

另對於本標準發布日前已設立之半導體製造業，應於發布日後三個月內向中央主管機關提出污染防制計劃書，並自民國八十九年七月一日起適用本排放標準。